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真空泵

多級羅茨泵應用

時間:2017-08-05 14:00來源:網絡整理非公司發表 作者:網文寫手 點擊:
      ACP 圍內的干式、風冷式多級羅茨泵因其涉及和性能參數,通??芍苯佑糜谔娲捎贸樗俜秶鷥鹊挠蜐櫥?a href='/xuanpian/' target='_blank'>旋片式真空泵。

        多級羅茨泵的優勢包括:

        ■■ 在氣體置換區域沒有潤滑劑
        ■■ 被泵送帶有油或離子的介質無任何污染
        ■■ 無工作液處理問題
        ■■ 具有長期穩定性的恒定真空參數
        ■■ 因易損件的最小數量而實現的高可靠性
        ■■ 在每個電源和主電源頻率、通用電源連接時,具有一相或三相變頻器恒定工作參數
        ■■ 風冷、無安裝費用和水冷操作成本
        ■■ 可針對高入口壓力連續操作
        ■■ 長維修間隔產生低運營成本
        ■■ 采用變頻器的遙控選擇
        ■■ 因可調節 rpm、降低的噪音水平、能源利用和電源輸入而理想地用于該應用
        ■■ 最小泄漏率
        ■■ 渦輪分子泵和羅茨泵理想的前級泵
        ■■ 認證符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求

        蒸汽

        如果沒有額外的措施,由于其相對較低的工作溫度,使用無油泵則有泵內發生冷凝的危險。與旋片式真空泵類似,多級羅茨泵裝有氣鎮閥,以增加泵的水蒸汽耐受性和水蒸氣的能力。泵內形成冷凝物增加了極限壓力,導致腐蝕,且最壞情況下,將導致泵故障。

        在無氣鎮的情況下,ACP 泵可輸送水分含量高達 5% 的介質。使用標準的泵氣鎮,水蒸汽耐受性為 10 hPa 且水蒸氣的能力為 100 g · h-1。在特殊泵版本(CV,可冷凝蒸汽)增加氣鎮吞吐量,可實現水蒸汽耐受性約為100 hPa,水蒸氣的能力為 700 至 1,000 g · h-1,這取決于環境溫度。

        至于旋片式真空泵:在排空蒸汽前,泵體必須用氣鎮預熱至少半個小時。較高溫度的泵體減少冷凝。減少冷凝的其他方法包括獲得盡可能低的出口壓力及分別排出冷凝物。必須使用垂直排氣管道防止出口處的背壓。如有有萃取系統,應將出口與其連接。

        灰塵和粒子

        如果沒有對大粒子物質的進入進行控制,在最壞情況下,ACP 系列多級羅茨泵可堵塞并徹底失效。為此,在含塵工藝或如玻璃制造中,在進氣側安裝過濾器以防止造成破壞。

        腐蝕性氣體

        ACP 系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。在這方面多級羅茨泵可用于半導體、太陽能和涂料行業中的腐蝕性氣體工藝(見第 4.6 節)。然而,ACP 系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下,使用具有惰性氣體凈化的版本,其中,采用惰性氣體幕保護軸承,且過程氣體通過在一個泵級中引入惰性氣體進行稀釋。

        泄漏率其高氣密性能夠保證多級羅茨泵 的長期使用以及昂貴氣體的使用(4He、3He、同位素標記氣體)氣體回路的最佳解決方案。

        輕型氣體和高真空

        多級羅茨泵具有出口閥以防止濕氣和氧氣擴散回到吸入室,這在腐蝕性氣體應用中會導致泵內發生化學反應。如果需要產生真空以防止輕型氣體聚集和回流擴散,在應用中,必須定期將該閥打開(如通過氣鎮)。

        即使排氣處的微真空或氣鎮的使用足以置換甚至連續的氦氣體吞吐量,如在蒸發器低溫恒溫器中,幾乎與氮或空氣具有相同的性能數據。

        在載氣禁止使用的應用中(如在閉合環路應用中),泵出口處必須有真空。
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